位移、位置、振動量測

重覆性：0.01um
線性度：0.25% FS±1000um 
靈敏度：73.75~150mV/Vmm
工作範圍：±1mm
全部行程：2.2mm
驅動頻率：5~13kHz ±5%
工作溫度：-10~65°C
工作電源：3V ±0.5%RMS