位移、位置、振動量測

重覆性：0.01um
線性度：0.4% FS±1000um 
靈敏度：36.88mV/Vmm
工作範圍：±2mm
全部行程：4.6mm
驅動頻率：13kHz ±5%
工作溫度：-20~65°C
彈簧壓力：0.63N / 0.16~0.4N(選購)
工作電源：3V ±0.5%RMS