位移、位置、振動量測

重覆性：0.02um
線性度：0.25~0.8% FS±1000um 
靈敏度：7.38~73.75mV/Vmm
工作範圍：±1~±5mm
全部行程：10.6mm
驅動頻率：13kHz ±5%
工作溫度：-10~65°C
彈簧壓力：1~2N
工作電源：3V ±0.5%RMS